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Verbundprojekt: Einsatz von kontinuierlichen VHF-Plasma-CVD (Linienquelle) zur Deposition von a-Si:H/µc-Si:H-Solarzellen. Teilvorhaben 'Technische Anpassung des VHF-Plasma-CVD-Gerätes an Dünnschicht-Si-Solarzellen-Prozesse'

Zeitraum
2008-09-01  –  2011-09-30
Bewilligte Summe
243.930,00 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE Holding GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
0325024B

Verbundprojekt: Entwicklung eines plasmagestützten Chalkogenisierungsverfahrens zur Herstellung von Cu(In, Ga)(Se,S)-Dünnschichtsolarzellen (PLASMA-CIGS), Teilprojekt: Anlagentechnik

Zeitraum
2011-11-01  –  2015-10-31
Bewilligte Summe
543.749,09 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE Holding GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
0325383B

Verbundvorhaben: PariS - Passivierende Kontakte für kostengünstige und hocheffiziente IBC-Solarzellen; Teilvorhaben: PVD-Prozessentwicklung für in-situ aSi und SiOx Mehrschichtstapel

Zeitraum
2024-06-01  –  2027-05-31
Bewilligte Summe
128.772,59 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE Holding GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
03EE1216B

Verbundprojekt: Anlagen- und Prozessentwicklung für im Durchlauf aufgedampfte Solarzellenkontakte (VAMOS – Vacuum Metallization Of Solar cells)

Zeitraum
2007-05-01  –  2007-12-31
Bewilligte Summe
42.200,95 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE Holding GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
0327660A

Verbundprojekt: CIS-Abscheidung mit hoher Produktivität

Zeitraum
2002-06-01  –  2006-05-31
Bewilligte Summe
228.324,46 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE Holding GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
0329843B

Verbundvorhaben: Entwicklung eines industrietauglichen Hochratenzerstäubungsprozesses für ZnO für CIS-Dünnschichtzellen

Zeitraum
2000-01-01  –  2003-06-30
Bewilligte Summe
1.241.782,77 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE Holding GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
0329859A/0