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Beginn
Bewilligte Summe
Land
Zuwendungsgeber

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Optimierung des multikristallinen Solarzellenprozesses mittels RTP und RIE

Zeitraum
2001-04-01  –  2004-04-30
Bewilligte Summe
580.134,27 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Chemnitz - Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik - Professur Elektronische Bauelemente, Chemnitz
Förderkennzeichen
0329803A