Zeitraum
2009-07-01 – 2012-12-31
Bewilligte Summe
177.870,22 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Berlin - Fakultät IV - Elektrotechnik und Informatik - Institut für Hochfrequenz- und Halbleiter-Systemtechnologien - Fachgebiet Halbleiterbauelemente, Berlin
Förderkennzeichen
03SF0359C