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Verbundvorhaben: Alternative Anlagen- und Prozesstechnologien für Heterojunctionsolarzellen und deren Umsetzung in innovativem Zell-und Modulkonzept - INNOHET, Teilvorhaben: Entwicklung eines industriell tauglichen inline-Reinigungsverfahren

Zeitraum
2013-10-01  –  2017-09-30
Bewilligte Summe
66.066,49 EUR
Ausführende Stelle
Singulus Technologies Aktiengesellschaft - Niederlassung Fürstenfeldbruck, Fürstenfeldbruck
Förderkennzeichen
0325634D

Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Entwicklung von Hochdurchsatz inline-Anlagen für anodisch geätzte poröse Siliziumschichten

Zeitraum
2016-11-01  –  2018-12-31
Bewilligte Summe
146.089,85 EUR
Ausführende Stelle
Singulus Technologies Aktiengesellschaft - Niederlassung Fürstenfeldbruck, Fürstenfeldbruck
Förderkennzeichen
0324135C