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search_results: 9 Vorhaben gefunden


Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Medienrecycling für Atmosphärendruck Silicium-Epitaxieprozesse

Zeitraum
2016-11-01  –  2018-12-31
Bewilligte Summe
140.089,95 EUR
Ausführende Stelle
centrotherm clean solutions GmbH, Blaubeuren
Förderkennzeichen
0324135D

Verbundvorhaben: ProSelect - Produktionstechnologie für Hocheffizienzsolarzellen basierend auf selektiven Kontakten; Teilvorhaben: Automatisierte Handhabung für Hocheffizienzsolarzellen basierend auf selektiven Kontakten

Zeitraum
2017-12-01  –  2021-04-30
Bewilligte Summe
541.098,00 EUR
Ausführende Stelle
ZS-Handling GmbH, Regensburg
Förderkennzeichen
0324189D

Verbundvorhaben: Epi-lnspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen, Teilvorhaben: Datenanalyse und Defektbewertung sowie Referenzproben und Anforderungsprofile für die Methodenentwicklung einschließlich Methodenevaluation

Zeitraum
2019-12-01  –  2021-12-31
Bewilligte Summe
549.116,00 EUR
Ausführende Stelle
NexWafe GmbH, Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
03EE1043A

Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Entwicklung von Hochdurchsatz-Prozessen und Anlagen für epiaktische Wafer

Zeitraum
2016-11-01  –  2018-12-31
Bewilligte Summe
1.429.327,00 EUR
Ausführende Stelle
NexWafe GmbH, Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
0324135A

Verbundvorhaben: PEPSI - P-Typ Epitaktische Siliziumwafer; Teilvorhaben: Optimierung von Hochdurchsatzprozessen und Anlagen für die Herstellung von epitaktischen p-Typ Wafern

Zeitraum
2021-01-01  –  2023-06-30
Bewilligte Summe
1.600.792,00 EUR
Ausführende Stelle
NexWafe GmbH, Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
03EE1082A

Verbundvorhaben: DETEKTIV - Detaillierte Defektanalyse von EpiWafern zur Verbesserung ihrer kristallographischen und elektronischen Qualität; Teilvorhaben: Reduktion von Kristalldefekten in EpiWafern aus Hochdurchsatzanlagen

Zeitraum
2021-05-01  –  2024-08-31
Bewilligte Summe
806.086,62 EUR
Ausführende Stelle
NexWafe GmbH, Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
03EE1117A

Verbundvorhaben: DETEKTIV - Detaillierte Defektanalyse von EpiWafern zur Verbesserung ihrer kristallographischen und elektronischen Qualität; Teilvorhaben: Herstellung defektarmer Referenz-EpiWafer und höchsteffizienter Solarzellen

Zeitraum
2021-05-01  –  2024-08-31
Bewilligte Summe
2.569.098,41 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE), Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
03EE1117C