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Verbundvorhaben: REWASI - Niedrige Waferkosten durch Recycling von Silizium-Sägeabrieb und Einsatz von Wasser als kostensparende Trägerflüssigkeit im Vieldrahtsägeprozess; Teilvorhaben: Entwicklung und Evaluierung eines wasserbasierten Mehrdrahtsägeprozesses sowie eines Prozesses zum Siliziumrecycling

Zeitraum
2015-12-01  –  2018-11-30
Bewilligte Summe
913.176,97 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB), Erlangen
Förderkennzeichen
0325938C

Verbundprojekt: DIASIP - Teilvorhaben: Grundlegende Untersuchungen von Diamantdraht-Sägeprozessen und Wafereigenschaften

Zeitraum
2011-10-01  –  2014-09-30
Bewilligte Summe
951.150,00 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut Technologiezentrum Halbleitermaterialien (THM), Freiberg
Förderkennzeichen
0325372A

Verbundvorhaben: Spitzencluster Solarvalley: Startverbund xµ - Material - Materialien für ultradünne Silizium - Solarzellen; Teilprojekt: MatCzSil - Herstellung von einkristallinen Proben aus unterschiedlichem Siliziumausgangsmaterial

Zeitraum
2009-03-01  –  2011-03-31
Bewilligte Summe
80.249,51 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut Technologiezentrum Halbleitermaterialien (THM), Freiberg
Förderkennzeichen
03SF0336G

Verbundvorhaben: Spitzencluster-Solarvalley: Startverbund xµ-Material Phase 2 - Materialien für ultradünne Silizium-Solarzellen; Teilprojekt: Herstellung einkristalliner Proben aus unterschiedlichem Siliciumausgangsmaterial

Zeitraum
2011-04-01  –  2013-12-31
Bewilligte Summe
69.000,00 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut Technologiezentrum Halbleitermaterialien (THM), Freiberg
Förderkennzeichen
03SF0398I

Spitzencluster Solarvalley, Verbundvorhaben CzSil: Optimierung des Czochralski-Verfahrens zur Herstellung von monokristallinem Silizium. Teilprojekt: Weiterentwicklung der Softwarewerkzeuge und deren Anwendung zur Beschreibung der Czochralski-Kristallzüchtung von Silizium für die Photovoltaik

Zeitraum
2009-07-01  –  2012-06-30
Bewilligte Summe
341.935,00 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut Technologiezentrum Halbleitermaterialien (THM), Freiberg
Förderkennzeichen
03SF0379C