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search_results: 3 Vorhaben gefunden
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Verbundvorhaben: SiC - Steigerung der Energieeffizienz bei der SiC-Epitaxie; Teilvorhaben: Erforschung CVD Technologie für SiC

Zeitraum
2024-06-01  –  2027-05-31
Bewilligte Summe
12.004.121,48 EUR
Ausführende Stelle
AIXTRON SE, Herzogenrath
Förderkennzeichen
03EN4084A

Verbundvorhaben: SiC - Steigerung der Energieeffizienz bei der SiC-Epitaxie; Teilvorhaben: SiC-Epitaxieentwicklung für die nächste Bauelementegeneration

Zeitraum
2024-06-01  –  2027-05-31
Bewilligte Summe
2.170.068,95 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie, Erlangen
Förderkennzeichen
03EN4084B

Verbundvorhaben: SiC - Steigerung der Energieeffizienz bei der SiC-Epitaxie; Teilvorhaben: Umsetzung von KI-gestützten Optimierungsstrategien für fortschrittliche Halbleiterproduktion

Zeitraum
2024-06-01  –  2027-05-31
Bewilligte Summe
1.198.637,35 EUR
Ausführende Stelle
bimanu Cloud Solutions GmbH, Neuss
Förderkennzeichen
03EN4084C