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Verbundvorhaben: PhocoHila - Photonische Prozesse zum schnellen, präzisen und flexiblen Heizen von Halbleiterbauelementen; Teilvorhaben: Laser-Prozessierung und Annealing

Zeitraum
2022-06-01  –  2024-12-31
Bewilligte Summe
1.233.236,60 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE), Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
03EE1125A

Verbundvorhaben: PhocoHila - Photonische Prozesse zum schnellen, präzisen und flexiblen Heizen von Halbleiterbauelementen; Teilvorhaben: Ultraschnelle in situ-Analyse von Annealing-Prozessen mittels Pump-Probe Messtechnik

Zeitraum
2022-06-01  –  2024-12-31
Bewilligte Summe
185.969,59 EUR
Ausführende Stelle
Hochschule Mittweida University of Applied Sciences, Mittweida
Förderkennzeichen
03EE1125B

Verbundvorhaben: PhocoHila - Photonische Prozesse zum schnellen präzisen und flexiblen Heizen von Halbleiterbauelementen; Teilvorhaben: Prozesskammer für laserbasierte Hochtemperaturprozessierung

Zeitraum
2022-06-01  –  2024-12-31
Bewilligte Summe
359.709,03 EUR
Ausführende Stelle
NTG Neue Technologien GmbH & Co. KG, Gelnhausen
Förderkennzeichen
03EE1125C