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Verbundvorhaben: PEPSI - P-Typ Epitaktische Siliziumwafer; Teilvorhaben: Optimierung von Hochdurchsatzprozessen und Anlagen für die Herstellung von epitaktischen p-Typ Wafern

Zeitraum
2021-01-01  –  2023-06-30
Bewilligte Summe
1.600.792,00 EUR
Ausführende Stelle
NexWafe GmbH, Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
03EE1082A

Verbundvorhaben: PEPSI - P-Typ Epitaktische Siliziumwafer; Teilvorhaben: Gettern mittels porösen Siliziums zur Verbesserung der Ladungsträgerlebensdauer von p-Typ epitaktischen Siliziumwafern

Zeitraum
2021-01-01  –  2023-06-30
Bewilligte Summe
673.242,29 EUR
Ausführende Stelle
Universität Konstanz, Konstanz
Förderkennzeichen
03EE1082B

Verbundvorhaben: PEPSI - P-Typ Epitaktische Siliziumwafer; Teilvorhaben: Entwicklung von Referenzprozessen zur Herstellung von p und n/p Epi-Wafern und Detailcharakterisierung der elektrischen und mechanischen Eigenschaften

Zeitraum
2021-01-01  –  2023-06-30
Bewilligte Summe
1.551.683,00 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE), Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
03EE1082C