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Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Anlagentechnischen Konzepte für die dynamische Abscheidung von TCO bzw. aSi Schichten

Zeitraum
2019-01-01  –  2022-06-30
Bewilligte Summe
874.603,12 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
0324293A

Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Optimierung der PECVD Linearquellentechnologie zur dynamischen Abscheidung von a-Si-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen

Zeitraum
2019-01-01  –  2022-06-30
Bewilligte Summe
168.991,93 EUR
Ausführende Stelle
FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden, Dresden
Förderkennzeichen
0324293C

Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Entwicklung eines spektralen, optischen Messverfahrens zur offline und inline Prozesskontrolle u. -optimierung von TCO-Schichten

Zeitraum
2019-01-01  –  2022-06-30
Bewilligte Summe
147.815,50 EUR
Ausführende Stelle
NXT GmbH, Heinsberg
Förderkennzeichen
0324293F

Verbundvorhaben: DYNASTO- Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben:Echtzeit-Plasmaprozesskontrolle u. Kammerzustandsüberwachung dur ch spektroskopischem Plasmamonitoring und In-situ Reflektometrie

Zeitraum
2019-01-01  –  2022-06-30
Bewilligte Summe
107.561,85 EUR
Ausführende Stelle
Plasus GmbH, Mering
Förderkennzeichen
0324293G

Verbundvorhaben: NanoPERC - Industrielle Prozesse für nanokontaktierte poly-Si-Schichten einer PERC-Nachfolgetechnologie mit passivierenden Kontakten; Teilvorhaben: NanoPERC-Zellentwicklung und Verbindungstechnik

Zeitraum
2019-05-01  –  2022-08-31
Bewilligte Summe
1.338.717,00 EUR
Ausführende Stelle
Institut für Solarenergieforschung GmbH, Emmerthal
Förderkennzeichen
03EE1012A

Verbundvorhaben: FUN - Gesputterte und in anderer Weise abgeschiedene a-Si-Schichten zur Herstellung von passivierten, siebgedruckten Kontakten für eine industrielle Produktion, Teilvorhaben: Fortschrittliche industrielle PV Technologie

Zeitraum
2019-09-01  –  2022-08-31
Bewilligte Summe
132.769,00 EUR
Ausführende Stelle
NexWafe GmbH, Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
03EE1022B

Verbundvorhaben: PrEsto - Perowskit-Silizium-Tandemsolarzellen: Entwicklung skalierbarer Prozesstechnologien; Teilvorhaben: Entwicklung von Lochtransportmaterialien

Zeitraum
2021-02-01  –  2024-01-31
Bewilligte Summe
251.703,00 EUR
Ausführende Stelle
Heraeus Epurio GmbH, Hanau
Förderkennzeichen
03EE1086D

Verbundvorhaben: POPEI - Produktionstechnologien für hochperformante kostengünstige IBC-Solarzellen; Teilvorhaben: POLO IBC Solarzellen mit PECVD poly-Si durch Schattenmasken und mit HCl/O3 Reinigung

Zeitraum
2021-05-01  –  2023-09-30
Bewilligte Summe
561.623,42 EUR
Ausführende Stelle
Institut für Solarenergieforschung GmbH, Emmerthal
Förderkennzeichen
03EE1102E

Verbundvorhaben: SHAPE - Skalierbare Hochratenprozesse für die Dampfphasenabscheidung von Perowskit-Silizium-Tandemsolarzellen; Teilvorhaben: Grenzen der Materialprozessierung gängiger Perowskit-Vorstufen in aktuellen Dampfphasensystemen

Zeitraum
2022-05-01  –  2025-10-31
Bewilligte Summe
56.599,14 EUR
Ausführende Stelle
M. Braun Inertgas-Systeme GmbH - Niederlassung Dresden, Dresden
Förderkennzeichen
03EE1123E

Verbundvorhaben: PeroTec-Effizienz - Entwicklung von Prozesstechnologie für hocheffiziente langzeitstabile Perowskitsolarzellen nach dem PeroTecTM Verfahren; Teilvorhaben: Nasschemische Ätztechnik zur Strukturierung von Glas

Zeitraum
2022-05-01  –  2024-04-30
Bewilligte Summe
244.594,15 EUR
Ausführende Stelle
RENA Technologies GmbH, Gütenbach
Förderkennzeichen
03EE1130C