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Verbundvorhaben: EnOB: Shango - Monitoring und Optimierung von Heizungsanlagen über Web-Schnittstellen; Teilvorhaben: Daten-Analyse Schnittstelle für maschinelle Diagnose von HVAC Systemen

Zeitraum
2021-10-01  –  2025-03-31
Bewilligte Summe
456.435,55 EUR
Ausführende Stelle
Bosch Thermotechnik GmbH - TT RHC/PAD, Lollar
Förderkennzeichen
03EN1044C

Verbundvorhaben: DETEKTIV - Detaillierte Defektanalyse von EpiWafern zur Verbesserung ihrer kristallographischen und elektronischen Qualität; Teilvorhaben: Reduktion von Kristalldefekten in EpiWafern aus Hochdurchsatzanlagen

Zeitraum
2021-05-01  –  2024-08-31
Bewilligte Summe
806.086,62 EUR
Ausführende Stelle
NexWafe GmbH, Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
03EE1117A