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Dekarbonisierung der Abgasbehandlung der Halbleiterfertigung durch Wasserstoff-Recycling; Teilvorhaben: Demonstration eines Wasserstoffrecyclings mittels Elektrochemischer Kompression im Industriemaßstab für die Halbleiterindustrie

Zeitraum
2024-07-01  –  2026-06-30
Bewilligte Summe
288.103,48 EUR
Ausführende Stelle
centrotherm clean solutions GmbH, Blaubeuren
Förderkennzeichen
03EI3099A

Verbundvorhaben: EH2C - H2-Recycling durch elektrochemische Kompression; Teilvorhaben: Aufbau, Erprobung und Validierung eines Prototypen zum H2-Recycling mittels EHC

Zeitraum
2021-04-01  –  2023-12-31
Bewilligte Summe
380.756,00 EUR
Ausführende Stelle
centrotherm clean solutions GmbH, Blaubeuren
Förderkennzeichen
03EI3038A

Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Medienrecycling für Atmosphärendruck Silicium-Epitaxieprozesse

Zeitraum
2016-11-01  –  2018-12-31
Bewilligte Summe
140.089,95 EUR
Ausführende Stelle
centrotherm clean solutions GmbH, Blaubeuren
Förderkennzeichen
0324135D