Zeitraum
2001-06-01 – 2004-04-30
Bewilligte Summe
699.346,57 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden
Förderkennzeichen
0329563C
Zeitraum
2004-05-01 – 2006-09-30
Bewilligte Summe
451.617,00 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden
Förderkennzeichen
0329563D
Zeitraum
2006-10-01 – 2010-03-31
Bewilligte Summe
653.687,00 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden
Förderkennzeichen
0329563E
Zeitraum
1997-05-01 – 2001-05-31
Bewilligte Summe
1.446.897,42 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden
Förderkennzeichen
0329563B/3
Zeitraum
2009-09-01 – 2013-03-31
Bewilligte Summe
966.810,83 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden
Förderkennzeichen
0325156
Zeitraum
2016-09-01 – 2019-12-31
Bewilligte Summe
824.163,24 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden
Förderkennzeichen
03SF0538B
Zeitraum
2012-10-01 – 2015-09-30
Bewilligte Summe
502.489,00 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden
Förderkennzeichen
0325442A
Zeitraum
2019-01-01 – 2022-06-30
Bewilligte Summe
265.693,49 EUR
Ausführende Stelle
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM), Dresden
Förderkennzeichen
0324293D