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Beginn
2020-2029 (2)
Bewilligte Summe
200.000 EUR-500.000 EUR (1)
500.000 EUR-1 Mio. EUR (1)
Land
Baden-Württemberg (2)
Zuwendungsgeber
BMWK (2)
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2 Vorhaben gefunden
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Verbundvorhaben - (A-Z)
Verbundvorhaben - (Z-A)
Verbundvorhaben: KOBRA - Kontaktierung von n-Typ polySi basierend auf Barriereschichten gegen Al-Eindiffusion; Teilvorhaben: Entwicklung eines PECVD-basierten Abscheideverfahrens von kontaktierbaren Barriereschichten
Zeitraum
2021-06-01 – 2024-12-31
Bewilligte Summe
301.350,00 EUR
Ausführende Stelle
centrotherm international AG, Blaubeuren
Förderkennzeichen
03EE1106A
Verbundvorhaben: KOBRA - Kontaktierung von n-Typ polySi basierend auf Barriereschichten gegen Al-Eindiffusion; Teilvorhaben: Charakterisierung von Barriereschichten und Entwicklung von Prozessen zur Metallisierung von n-Typ polySi
Zeitraum
2021-06-01 – 2024-12-31
Bewilligte Summe
654.880,66 EUR
Ausführende Stelle
Universität Konstanz, Konstanz
Förderkennzeichen
03EE1106B