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Beginn
2000-2009 (3)
Bewilligte Summe
100.000 EUR-200.000 EUR (2)
500.000 EUR-1 Mio. EUR (1)
Land
Baden-Württemberg (1)
Bayern (1)
Sachsen (1)
Zuwendungsgeber
BMWK (3)
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3 Vorhaben gefunden
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Bewilligte Summe - (absteigend)
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Verbundvorhaben - (A-Z)
Verbundvorhaben - (Z-A)
Verbundvorhaben: In-line Kontaktierung mittels physikalischer Gasphasen-Abscheidung
Zeitraum
2003-10-01 – 2006-09-30
Bewilligte Summe
539.150,00 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE), Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
0329934A
Verbundvorhaben: In-line Kontaktierung mittels physikalischer Gasphasen-Abscheidung
Zeitraum
2003-10-01 – 2006-09-30
Bewilligte Summe
178.869,40 EUR
Ausführende Stelle
Applied Materials GmbH & Co. KG, Alzenau
Förderkennzeichen
0329934C
Verbundvorhaben: In-line Kontaktierung mittels physikalischer Gasphasen-Abscheidung
Zeitraum
2003-10-01 – 2006-09-30
Bewilligte Summe
148.693,00 EUR
Ausführende Stelle
Deutsche Cell GmbH, Freiberg
Förderkennzeichen
0329934B