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Verbundvorhaben: Trocken- und minimalgeschmierte tribologische Systeme (CHEOPS3); Teilvorhaben: Modifizierung der Laser-Arc-Technik/Technologie (zur Abscheidung von Kohlenstoff-Festschmierstoff-Schichtsystemen)

Zeitraum
2015-10-01  –  2019-10-31
Bewilligte Summe
81.749,82 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
03ET1286I

Verbundprojekt: Entwicklung eines plasmagestützten Chalkogenisierungsverfahrens zur Herstellung von Cu(In, Ga)(Se,S)-Dünnschichtsolarzellen (PLASMA-CIGS), Teilprojekt: Anlagentechnik

Zeitraum
2011-11-01  –  2015-10-31
Bewilligte Summe
543.749,09 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE Holding GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
0325383B

Verbundvorhaben: PATOS - Prozess- und Anlagentechnologie zur kostengünstigen und ressourcenschonenden Herstellung von Silizium-Heterostruktursolarzellen mit hohem Wirkungsgrad; Teilvorhaben: Kostenoptimierte TCO-Prozessierung und anlagentechnische Integration der Hotwire-CVD

Zeitraum
2016-09-01  –  2020-05-31
Bewilligte Summe
387.784,99 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
0324074B

Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Anlagentechnischen Konzepte für die dynamische Abscheidung von TCO bzw. aSi Schichten

Zeitraum
2019-01-01  –  2022-06-30
Bewilligte Summe
874.603,12 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
0324293A

Verbundvorhaben: SpuTOPiA - Sputtern von passivierenden Kontakten basierend auf der TOPCon Technologie mit industrieller Anlagentechnologie; Teilvorhaben: In-situ Sputterprozesse hochdotierter Poly-Si-Schichten

Zeitraum
2020-10-01  –  2023-06-30
Bewilligte Summe
595.240,88 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
03EE1068A

Verbundvorhaben: KOALA-Plus - Demonstration von massenfertigungstauglichen Perowskit/Silizium Tandem-Solarzellen mittels PVD Abscheidung – Erweiterung der KOALA-Anlage; Teilvorhaben: Prozesstechnologie für die Abscheidung von TCO-Fensterschichten für Si-Perowskit-Tandemzellen

Zeitraum
2021-05-01  –  2024-10-31
Bewilligte Summe
235.429,00 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
03EE1109B

Verbundvorhaben PROMETHEUS: Projekt zur Reibungs-Optimierung von Motoren durch Einsatz von triboaktiven Hochleistungskohlenstoff- sowie Eisenbasisschichten und Schmierstoffen; Teilvorhaben: Weiterentwicklung der Beschichtungstechnologie für die Abscheidung optimierter ta-C-Schichten.

Zeitraum
2019-01-01  –  2022-06-30
Bewilligte Summe
823.118,00 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
03ET1609L

Verbundprojekt: Einsatz von kontinuierlichen VHF-Plasma-CVD (Linienquelle) zur Deposition von a-Si:H/µc-Si:H-Solarzellen. Teilvorhaben 'Technische Anpassung des VHF-Plasma-CVD-Gerätes an Dünnschicht-Si-Solarzellen-Prozesse'

Zeitraum
2008-09-01  –  2011-09-30
Bewilligte Summe
243.930,00 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE Holding GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
0325024B

Verbundvorhaben: SHAPE - Skalierbare Hochratenprozesse für die Dampfphasenabscheidung von Perowskit-Silizium-Tandemsolarzellen; Teilvorhaben: Wirtschaftliche Hochratenprozesse

Zeitraum
2022-05-01  –  2025-04-30
Bewilligte Summe
127.918,50 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
03EE1123B

Verbundvorhaben: ProTandem - Demonstration der Produktionstauglichkeit von Perowskit-Silizium Tandemsolarzellen; Teilvorhaben: Industriell skalierbarer Prozesstechnik

Zeitraum
2018-07-01  –  2020-08-31
Bewilligte Summe
73.511,09 EUR
Ausführende Stelle
VON ARDENNE GmbH, Dresden
Förderkennzeichen
0324288D