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Beginn
2010-2019 (4)
Bewilligte Summe
100.000 EUR-200.000 EUR (1)
200.000 EUR-500.000 EUR (1)
500.000 EUR-1 Mio. EUR (1)
1 Mio. EUR-2 Mio. EUR (1)
Land
Baden-Württemberg (2)
Hessen (1)
Nordrhein-Westfalen (1)
Zuwendungsgeber
BMWK (4)
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4 Vorhaben gefunden
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Verbundvorhaben - (Z-A)
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Förderkennzeichen - (A-Z)
Förderkennzeichen - (Z-A)
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Verbundvorhaben - (A-Z)
Verbundvorhaben - (Z-A)
Verbundvorhaben: Epi-lnspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen, Teilvorhaben: Datenanalyse und Defektbewertung sowie Referenzproben und Anforderungsprofile für die Methodenentwicklung einschließlich Methodenevaluation
Zeitraum
2019-12-01 – 2021-12-31
Bewilligte Summe
549.116,00 EUR
Ausführende Stelle
NexWafe GmbH, Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
03EE1043A
Verbundvorhaben: Epi-lnspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen; Teilvorhaben: Messtechnik zur Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen
Zeitraum
2019-12-01 – 2021-11-30
Bewilligte Summe
319.120,00 EUR
Ausführende Stelle
Meyer Burger (Germany) GmbH, Hohenstein-Ernstthal
Förderkennzeichen
03EE1043B
Verbundvorhaben: Epi-lnspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen; Teilvorhaben: Methodenentwicklung spektrale Inspektion
Zeitraum
2019-12-01 – 2022-03-31
Bewilligte Summe
189.687,73 EUR
Ausführende Stelle
ISRA VISION GmbH, Darmstadt
Förderkennzeichen
03EE1043D
Verbundvorhaben: Epi-lnspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen; Teilvorhaben: Methoden der Inline-Inspektion und deren Grundlagen, Methoden der empirischen Datenanalyse zur Defektidentifikation sowie Methoden der Detailanalyse zur Ermittlung von Defektursachen
Zeitraum
2019-12-01 – 2021-12-31
Bewilligte Summe
1.799.999,00 EUR
Ausführende Stelle
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE), Freiburg im Breisgau
Förderkennzeichen
03EE1043C