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Beginn
2010-2019 (1)
2020-2029 (2)
Bewilligte Summe
100.000 EUR-200.000 EUR (1)
200.000 EUR-500.000 EUR (2)
Land
Baden-Württemberg (3)
Zuwendungsgeber
BMWK (3)
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3 Vorhaben gefunden
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Thema
Bewilligte Summe
Ausführende Stelle
Verbundvorhaben: EpiPower - Prozess- und Anlagenentwicklung für epitaktisch prozessierte Wafer; Teilvorhaben: Medienrecycling für Atmosphärendruck Silicium-Epitaxieprozesse
140.089,95 EUR
centrotherm clean solutions GmbH
Dekarbonisierung der Abgasbehandlung der Halbleiterfertigung durch Wasserstoff-Recycling; Teilvorhaben: Demonstration eines Wasserstoffrecyclings mittels Elektrochemischer Kompression im Industriemaßstab für die Halbleiterindustrie
288.103,48 EUR
centrotherm clean solutions GmbH
Verbundvorhaben: EH2C - H2-Recycling durch elektrochemische Kompression; Teilvorhaben: Aufbau, Erprobung und Validierung eines Prototypen zum H2-Recycling mittels EHC
380.756,00 EUR
centrotherm clean solutions GmbH