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Beginn
2000-2009 (4)
2010-2019 (1)
2020-2029 (1)
Bewilligte Summe
0 EUR-100.000 EUR (1)
100.000 EUR-200.000 EUR (1)
200.000 EUR-500.000 EUR (2)
500.000 EUR-1 Mio. EUR (1)
1 Mio. EUR-2 Mio. EUR (1)
Land
Sachsen (6)
Zuwendungsgeber
BMWK (6)
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6 Vorhaben gefunden
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Bewilligte Summe - (aufsteigend)
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Verbundvorhaben - (A-Z)
Verbundvorhaben - (Z-A)
Thema
Bewilligte Summe
Ausführende Stelle
Verbundprojekt: Anlagen- und Prozessentwicklung für im Durchlauf aufgedampfte Solarzellenkontakte (VAMOS – Vacuum Metallization Of Solar cells)
42.200,95 EUR
VON ARDENNE Holding GmbH
Verbundvorhaben: PariS - Passivierende Kontakte für kostengünstige und hocheffiziente IBC-Solarzellen; Teilvorhaben: PVD-Prozessentwicklung für in-situ aSi und SiOx Mehrschichtstapel
128.772,59 EUR
VON ARDENNE Holding GmbH
Verbundprojekt: CIS-Abscheidung mit hoher Produktivität
228.324,46 EUR
VON ARDENNE Holding GmbH
Verbundprojekt: Einsatz von kontinuierlichen VHF-Plasma-CVD (Linienquelle) zur Deposition von a-Si:H/µc-Si:H-Solarzellen. Teilvorhaben 'Technische Anpassung des VHF-Plasma-CVD-Gerätes an Dünnschicht-Si-Solarzellen-Prozesse'
243.930,00 EUR
VON ARDENNE Holding GmbH
Verbundprojekt: Entwicklung eines plasmagestützten Chalkogenisierungsverfahrens zur Herstellung von Cu(In, Ga)(Se,S)-Dünnschichtsolarzellen (PLASMA-CIGS), Teilprojekt: Anlagentechnik
543.749,09 EUR
VON ARDENNE Holding GmbH
Verbundvorhaben: Entwicklung eines industrietauglichen Hochratenzerstäubungsprozesses für ZnO für CIS-Dünnschichtzellen
1.241.782,77 EUR
VON ARDENNE Holding GmbH