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2010-2019 (11)
2020-2029 (11)
Bewilligte Summe
0 EUR-100.000 EUR (3)
100.000 EUR-200.000 EUR (3)
200.000 EUR-500.000 EUR (11)
500.000 EUR-1 Mio. EUR (6)
1 Mio. EUR-2 Mio. EUR (3)
Land
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Zuwendungsgeber
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26 Vorhaben gefunden
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Thema
Beginn
Ende
Verbundvorhaben: Entwicklung eines industrietauglichen Hochratenzerstäubungsprozesses für ZnO für CIS-Dünnschichtzellen
2000-01-01
2003-06-30
Verbundprojekt: CIS-Abscheidung mit hoher Produktivität
2002-06-01
2006-05-31
Verbundprojekt: Anlagen- und Prozessentwicklung für im Durchlauf aufgedampfte Solarzellenkontakte (VAMOS – Vacuum Metallization Of Solar cells)
2007-05-01
2007-12-31
Verbundprojekt: Einsatz von kontinuierlichen VHF-Plasma-CVD (Linienquelle) zur Deposition von a-Si:H/µc-Si:H-Solarzellen. Teilvorhaben 'Technische Anpassung des VHF-Plasma-CVD-Gerätes an Dünnschicht-Si-Solarzellen-Prozesse'
2008-09-01
2011-09-30
Verbundprojekt: Entwicklung eines plasmagestützten Chalkogenisierungsverfahrens zur Herstellung von Cu(In, Ga)(Se,S)-Dünnschichtsolarzellen (PLASMA-CIGS), Teilprojekt: Anlagentechnik
2011-11-01
2015-10-31
Verbundvorhaben: Trocken- und minimalgeschmierte tribologische Systeme (CHEOPS3); Teilvorhaben: Modifizierung der Laser-Arc-Technik/Technologie (zur Abscheidung von Kohlenstoff-Festschmierstoff-Schichtsystemen)
2015-10-01
2019-10-31
Verbundvorhaben: PATOS - Prozess- und Anlagentechnologie zur kostengünstigen und ressourcenschonenden Herstellung von Silizium-Heterostruktursolarzellen mit hohem Wirkungsgrad; Teilvorhaben: Kostenoptimierte TCO-Prozessierung und anlagentechnische Integration der Hotwire-CVD
2016-09-01
2020-05-31
Verbundvorhaben: SELEKTIV - Selektive Kontaktsysteme für hocheffiziente Siliziumsolarzellen; Teilvorhaben: Anlagen und Technologie
2016-11-01
2020-06-30
Verbundvorhaben: ProTandem - Demonstration der Produktionstauglichkeit von Perowskit-Silizium Tandemsolarzellen; Teilvorhaben: Industriell skalierbarer Prozesstechnik
2018-07-01
2020-08-31
Verbundvorhaben: TuKaN - Tunnelkontakte auf N-Typ: für die Metallisierung mit Siebdruck, Teilvorhaben: Industrielle aSi:H-Abscheidung für passivierte Kontakte auf Basis poly-Si-Tunneloxide
2017-10-01
2021-03-31
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