| Aufskalierung einer VHF-Linienquelle für höhere Frequenzen und größere Bearbeitungsbreiten |
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Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM) |
| VHF-Hochrate-Plasma-CVD auf großen Flächen für amorphe und mikrokristalline Siliziumschichten |
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Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM) |
| Beschichtung von flexiblen Substraten mit a-Silizium pin-Solarzellen mittels einer VHF-PECVD-Durchlaufanlage |
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Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM) |
| Entwicklung eines kontinuierlichen VHF-Bandschichtungsverfahrens zur Herstellung von 'mikromorphen' Silizium-Tandemsolarzellen |
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Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM) |
| Großflächige Abscheidung von a-Silizium-pin-Solarzellen mit einer VHF-PCVD-Durchlaufanlage |
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Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM) |
| Verbundprojekt: Entwicklung und Untersuchung der Beschichtung von Folienbändern mit Kontakten, Barrieren und Solarzellen (FlexSol); Teilvorhaben: Bandbeschichtung mit amorphen und mikrokristallinen Solarzellen |
01117165/1 |
Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM) |
| Verbundvorhaben TIBET: Hochtransparente, leitfähige und passivierende Elektroden für hocheffiziente Solarzellen (TIBET), Titel der Teilvorhabenbeschreibung: Entwicklung amorpher und mikrokristalliner Halbleiter mittels VHF PECVD und Vergleich mit Hot-Wire CVD |
01173078/1 |
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| Verbundvorhaben: DYNASTO – Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellungskosten; Teilvorhaben: Dynamische PECVD für Hocheffizienz Si-Solarzellen - Grundlagenuntersuchungen |
01183209/1 |
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