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Beginn
1990-1999 (1)
2000-2009 (4)
2010-2019 (3)
Bewilligte Summe
200.000 EUR-500.000 EUR (2)
500.000 EUR-1 Mio. EUR (5)
1 Mio. EUR-2 Mio. EUR (1)
Land
Sachsen (8)
Zuwendungsgeber
BMBF (1)
BMWK (7)
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8 Vorhaben gefunden
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Thema
Beginn
Ende
Verbundvorhaben: DYNASTO – Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellungskosten; Teilvorhaben: Dynamische PECVD für Hocheffizienz Si-Solarzellen - Grundlagenuntersuchungen
2019-01-01
2022-06-30
Verbundvorhaben TIBET: Hochtransparente, leitfähige und passivierende Elektroden für hocheffiziente Solarzellen (TIBET), Titel der Teilvorhabenbeschreibung: Entwicklung amorpher und mikrokristalliner Halbleiter mittels VHF PECVD und Vergleich mit Hot-Wire CVD
2016-09-01
2019-12-31
Verbundprojekt: Entwicklung und Untersuchung der Beschichtung von Folienbändern mit Kontakten, Barrieren und Solarzellen (FlexSol); Teilvorhaben: Bandbeschichtung mit amorphen und mikrokristallinen Solarzellen
2012-10-01
2015-09-30
Aufskalierung einer VHF-Linienquelle für höhere Frequenzen und größere Bearbeitungsbreiten
2009-09-01
2013-03-31
Beschichtung von flexiblen Substraten mit a-Silizium pin-Solarzellen mittels einer VHF-PECVD-Durchlaufanlage
2006-10-01
2010-03-31
Entwicklung eines kontinuierlichen VHF-Bandschichtungsverfahrens zur Herstellung von 'mikromorphen' Silizium-Tandemsolarzellen
2004-05-01
2006-09-30
Großflächige Abscheidung von a-Silizium-pin-Solarzellen mit einer VHF-PCVD-Durchlaufanlage
2001-06-01
2004-04-30
VHF-Hochrate-Plasma-CVD auf großen Flächen für amorphe und mikrokristalline Siliziumschichten
1997-05-01
2001-05-31