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Beginn
2020-2029 (3)
Bewilligte Summe
500.000 EUR-1 Mio. EUR (1)
1 Mio. EUR-2 Mio. EUR (2)
Land
Baden-Württemberg (2)
Niedersachsen (1)
Zuwendungsgeber
BMWK (3)
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3 Vorhaben gefunden
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Thema
Beginn
Ende
Verbundvorhaben: PEPSI - P-Typ Epitaktische Siliziumwafer; Teilvorhaben: Entwicklung von Referenzprozessen zur Herstellung von p und n/p Epi-Wafern und Detailcharakterisierung der elektrischen und mechanischen Eigenschaften
2021-01-01
2023-06-30
Verbundvorhaben: PEPSI - P-Typ Epitaktische Siliziumwafer; Teilvorhaben: Gettern mittels porösen Siliziums zur Verbesserung der Ladungsträgerlebensdauer von p-Typ epitaktischen Siliziumwafern
2021-01-01
2023-06-30
Verbundvorhaben: PEPSI - P-Typ Epitaktische Siliziumwafer; Teilvorhaben: Optimierung von Hochdurchsatzprozessen und Anlagen für die Herstellung von epitaktischen p-Typ Wafern
2021-01-01
2023-06-30