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Verbundvorhaben: KoReMo - Kostenreduktion und erhöhte Ressourceneffizienz durch neue Versorgungssysteme für Metall-Organische Ausgangsstoffe in der Epitaxie von III-V Hochleistungssolarzellen; Teilvorhaben: Industrielle Bewertung aus Anwendersicht 2017-03-01 2021-04-30
Verbundvorhaben: KoReMo - Kostenreduktion und erhöhte Ressourceneffizienz durch neue Versorgungssysteme für Metall-Organische Ausgangsstoffe in der Epitaxie von III-V Hochleistungssolarzellen; Teilvorhaben: Effizientes Herstellverfahren für TMIn, Entwicklung von In-Quellen für die Epitaxie von III/V-Halbleitern 2017-03-01 2021-02-28
Verbundvorhaben: KoReMo - Kostenreduktion und erhöhte Ressourceneffizienz durch neue Versorgungssysteme für Metall-Organische Ausgangsstoffe in der Epitaxie von III-V Hochleistungssolarzellen; Teilvorhaben: Direktverdampfersystem für TMGa und flüssiges Indium 2017-03-01 2021-02-28
Verbundvorhaben: KoReMo - Kostenreduktion und erhöhte Ressourceneffizienz durch neue Versorgungssysteme für Metall-Organische Ausgangsstoffe in der Epitaxie von III-V Hochleistungssolarzellen; Teilvorhaben: Nachweis hoher Abscheideraten und Materialqualität anhand von III-V Solarzellen 2017-03-01 2021-02-28
Verbundvorhaben: KoReMo - Kostenreduktion und erhöhte Ressourceneffizienz durch neue Versorgungssysteme für Metall-Organische Ausgangsstoffe in der Epitaxie von III-V Hochleistungssolarzellen; Teilvorhaben: Optimierte MOCVD-Systeme für neue MO-Versorgungssysteme 2017-03-01 2021-02-28