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Beginn
2010-2019 (4)
Bewilligte Summe
200.000 EUR-500.000 EUR (3)
1 Mio. EUR-2 Mio. EUR (1)
Land
Baden-Württemberg (2)
Nordrhein-Westfalen (1)
Sachsen (1)
Zuwendungsgeber
BMWK (4)
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4 Vorhaben gefunden
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Thema
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Ende
Verbundvorhaben: POLDI - Hochdurchsatz Technologie für Hocheffiziente (selektive) Emitter mittels Niederdruck POCl3-Diffusion und Laserdotieren; Teilvorhaben: Prozessentwicklung und Integration
2016-09-01
2020-08-31
Verbundvorhaben: POLDI - Hochdurchsatz Technologie für Hocheffiziente (selektive) Emitter mittels Niederdruck POCl3-Diffusion und Laserdotieren; Teilvorhaben: Anlagenentwicklung für das selektive Laserdotieren
2016-09-01
2020-08-31
Verbundvorhaben: POLDI - Hochdurchsatz Technologie für Hocheffiziente (selektive) Emitter mittels Niederdruck POCl3-Diffusion und Laserdotieren; Teilvorhaben: Entwicklung einer hochrepetierenden frequenzverdoppelten Strahlquelle
2016-09-01
2020-08-31
Verbundvorhaben: POLDI - Hochdurchsatz Technologie für Hocheffiziente (selektive) Emitter mittels Niederdruck POCl3-Diffusion und Laserdotieren; Teilvorhaben: Anlagen- und Prozessentwicklung Diffusion
2016-09-01
2020-08-31