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Beginn
2010-2019 (5)
Bewilligte Summe
0 EUR-100.000 EUR (1)
200.000 EUR-500.000 EUR (3)
500.000 EUR-1 Mio. EUR (1)
Land
Baden-Württemberg (1)
Bayern (2)
Berlin (2)
Zuwendungsgeber
BMWK (5)
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5 Vorhaben gefunden
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Verbundvorhaben: SIMPLEX - Hocheffiziente Vakuumbeschichtungen von passivierenden Schichtsystemen auf c-Si Solarzellen, Teilprojekt: Chemische Charakterisierung und Echtzeitüberwachung des Prozessplasmas
Mering
Plasus GmbH
Verbundvorhaben: SIMPLEX - Hocheffiziente Vakuumbeschichtungen von passivierenden Schichtsystemen auf c-Si Solarzellen, Teilprojekt: Erstellung PECVD-Plasmareaktor und Analyse des Plasmaprozesses
Kahl a. Main
Singulus Technologies Aktiengesellschaft
Verbundvorhaben: SIMPLEX - Hocheffiziente Vakuumbeschichtungen von passivierenden Schichtsystemen auf c-Si Solarzellen, Teilprojekte: PECVD-Prozesse, Herstellung und Charakterisierung (ISE) / Simulationen (IST)
Freiburg im Breisgau
Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE)
Verbundvorhaben: SIMPLEX - Hocheffiziente Vakuumbeschichtungen von passivierenden Schichtsystemen auf c-Si Solarzellen, Teilprojekt Monitoring des Schichtwachstums ultradünner dielektrischer Schichten
Berlin
Sentech Instruments GmbH
Verbundvorhaben: SIMPLEX - Hocheffiziente Vakuumbeschichtungen von passivierenden Schichtsystemen auf c-Si Solarzellen, Teilprojekt: Simulation, Experiment, Charakterisierung, Kostenrechnung
Berlin
Plasmetrex GmbH