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Thema	FKZ	Ausführende Stelle
Verbundvorhaben: Epi-lnspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen, Teilvorhaben: Datenanalyse und Defektbewertung sowie Referenzproben und Anforderungsprofile für die Methodenentwicklung einschließlich Methodenevaluation	03EE1043A	NexWafe GmbH
Verbundvorhaben: Epi-lnspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen; Teilvorhaben: Messtechnik zur Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen	03EE1043B	Meyer Burger (Germany) GmbH
Verbundvorhaben: Epi-lnspec - Inspektion von EpiWafern und deren Vorstufen; Teilvorhaben: Methodenentwicklung spektrale Inspektion	03EE1043D	ISRA VISION GmbH
Verbundvorhaben: micro-CPV - Entwicklung eines hochkonzentrierenden CPV-Moduls auf Basis modernster Micro-Fertigungstechnologie; Teilvorhaben: Entwicklung einer exakten Positionierung des Halbleiters auf dem Schaltungsträger	03EE1046B	EVYTRA GmbH
Verbundvorhaben: micro-CPV - Entwicklung eines hochkonzentrierenden CPV-Moduls auf Basis modernster Micro-Fertigungstechnologie; Teilvorhaben: Prozessentwicklung eines verlustarmen Spaltverfahrens von III-V/Ge Mehrfachsolarzellen	03EE1046C	DISCO HI-TEC EUROPE GmbH
Verbundvorhaben: micro-CPV - Entwicklung eines hochkonzentrierenden CPV-Moduls auf Basis modernster Micro-Fertigungstechnologie; Teilvorhaben: Modulare Prozess- und Anlagentechnik für die großflächige parallele Platzierung von Mikro-Lotdepots und Kugeloptiken auf Solarzellen	03EE1046D	Wagenbrett GmbH & Co. KG
Verbundvorhaben: micro-CPV - Entwicklung eines hochkonzentrierenden CPV-Moduls auf Basis modernster Micro-Fertigungstechnologie; Teilvorhaben: Konzept, Design, Aufbau und Charakterisierung	03EE1046E	AZUR SPACE Solar Power GmbH
Verbundvorhaben: micro-CPV - Entwicklung eines hochkonzentrierenden CPV-Moduls auf Basis modernster Micro-Fertigungstechnologie; Teilvorhaben: Entwicklung einer Vollglas-Linsenplatte	03EE1046G	Fuchs Design GmbH
Verbundvorhaben: micro-CPV - Entwicklung eines hochkonzentrierenden CPV-Moduls auf Basis modernster Micro-Fertigungstechnologie; Teilvorhaben: Entwicklung und Herstellung von SOE für micro-CPV	03EE1046H	Sigmund Lindner GmbH
Verbundvorhaben: micro-CPV - Entwicklung eines hochkonzentrierenden CPV-Moduls auf Basis modernster Micro-Fertigungstechnologie; Teilvorhaben: Modulare Prozess- und Anlagentechnik für die großflächige parallele Platzierung von Mikro-Lotdepots und Kugeloptiken auf Solarzellen	03EE1046I	Wagenbrett GmbH & Co. KG

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