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Beginn
2000-2009 (4)
2010-2019 (11)
2020-2029 (11)
Bewilligte Summe
0 EUR-100.000 EUR (3)
100.000 EUR-200.000 EUR (3)
200.000 EUR-500.000 EUR (11)
500.000 EUR-1 Mio. EUR (6)
1 Mio. EUR-2 Mio. EUR (3)
Land
Baden-Württemberg (1)
Berlin (3)
Brandenburg (1)
Sachsen (20)
Sachsen-Anhalt (1)
Zuwendungsgeber
BMWK (26)
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26 Vorhaben gefunden
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Ausführende Stelle - (A-Z)
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Verbundvorhaben - (A-Z)
Verbundvorhaben - (Z-A)
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Thema
FKZ
Ausführende Stelle
Verbundprojekt: Einsatz von kontinuierlichen VHF-Plasma-CVD (Linienquelle) zur Deposition von a-Si:H/µc-Si:H-Solarzellen. Teilvorhaben 'Technische Anpassung des VHF-Plasma-CVD-Gerätes an Dünnschicht-Si-Solarzellen-Prozesse'
0325024B
VON ARDENNE Holding GmbH
Verbundprojekt: Entwicklung eines plasmagestützten Chalkogenisierungsverfahrens zur Herstellung von Cu(In, Ga)(Se,S)-Dünnschichtsolarzellen (PLASMA-CIGS), Teilprojekt: Anlagentechnik
0325383B
VON ARDENNE Holding GmbH
Verbundvorhaben: PariS - Passivierende Kontakte für kostengünstige und hocheffiziente IBC-Solarzellen; Teilvorhaben: PVD-Prozessentwicklung für in-situ aSi und SiOx Mehrschichtstapel
03EE1216B
VON ARDENNE Holding GmbH
Verbundvorhaben: Entwicklung eines industrietauglichen Hochratenzerstäubungsprozesses für ZnO für CIS-Dünnschichtzellen
0329859A/0
VON ARDENNE Holding GmbH
Verbundprojekt: CIS-Abscheidung mit hoher Produktivität
0329843B
VON ARDENNE Holding GmbH
Verbundprojekt: Anlagen- und Prozessentwicklung für im Durchlauf aufgedampfte Solarzellenkontakte (VAMOS – Vacuum Metallization Of Solar cells)
0327660A
VON ARDENNE Holding GmbH
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