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Thema	FKZ	Ausführende Stelle
Verbundvorhaben: Wafer 4.0 - Herstellung von Kristallen und Wafern in einer Industrie 4.0 Umgebung; Teilvorhaben: Kristallisation und Wafering	0324281A	Fraunhofer-Center für Silizium-Photovoltaik CSP - Labor für Kristallisationstechnologie
Verbundvorhaben: Wafer 4.0 - Herstellung von Kristallen und Wafern in einer Industrie 4.0 Umgebung; Teilvorhaben: Herstellung von Kristallen in einer 4.0 Umgebung	0324281B	PVA Crystal Growing Systems GmbH
Verbundvorhaben: Wafer 4.0 - Herstellung von Kristallen und Wafern in einer Industrie 4.0 Umgebung; Teilvorhaben: Datenanalyse des Vieldrahtsägeprozesses zur massenhaften kostengünstigen Herstellung von Wafern in einer Industrie 4.0 Umgebung	0324281C	PV Crystalox Solar Silicon GmbH
Verbundvorhaben: Wafer 4.0 - Herstellung von Kristallen und Wafern in einer Industrie 4.0 Umgebung; Teilvorhaben: Datenverarbeitung und Analyse	0324281D	Kontron AIS GmbH
Verbundvorhaben: IMPACT - Industrierelevante Prozessmodule zur Herstellung von lokalen passivierten Silicium-Kontakten, Teilvorhaben: Entwicklung und Bewertung von lokalen, passivierenden Kontakten auf Basis von anorganischen Polymeren	0324284A	Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE)
Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Anlagentechnischen Konzepte für die dynamische Abscheidung von TCO bzw. aSi Schichten	0324293A	VON ARDENNE GmbH
Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Entwicklung des vorderseitigen Kontaktsystems	0324293B	Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie Gesellschaft mit beschränkter Haftung - Institut Materialien für die Photovoltaik (E-I5)
Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Optimierung der PECVD Linearquellentechnologie zur dynamischen Abscheidung von a-Si-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen	0324293C	FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden
Verbundvorhaben: DYNASTO - Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben: Entwicklung eines spektralen, optischen Messverfahrens zur offline und inline Prozesskontrolle u. -optimierung von TCO-Schichten	0324293F	NXT GmbH
Verbundvorhaben: DYNASTO- Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten; Teilvorhaben:Echtzeit-Plasmaprozesskontrolle u. Kammerzustandsüberwachung dur ch spektroskopischem Plasmamonitoring und In-situ Reflektometrie	0324293G	Plasus GmbH

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