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Thema	FKZ	Ausführende Stelle
Hochrate-Plasma-CVD von A-Si:H und dessen elektrische Stabilität für photovoltaische Anwendungen	0329196A/9	Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Festkörperelektronik (IFE)
Vhf-Hochrate-Plasma-CVD auf großen Flächen für Amorphe und Polykristalline Schichten	0329563A/0	Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Festkörperelektronik (IFE)
Verbundvorhaben: Bauteilintegrierte Sensorik für Kraftübertragungselemente in Windenergieanlagen (BiSWind); Teilvorhaben: Energie-Harvesting durch piezoelektrische Dünnschichten	0325891E	Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Festkörperelektronik (IFE)
Verbundvorhaben: 'Entwicklung hoch- und kosteneffizienter PV-Si Wafer (ENOWA_II); Teilvorhaben: Ultraschallmesstechnik für Modellexperimente zur gerichteten Erstarrung'	0325805K	Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Grundlagen der Elektrotechnik und Elektronik
Beschichtung von flexiblen Substraten mit a-Silizium pin-Solarzellen mittels einer VHF-PECVD-Durchlaufanlage	0329563E	Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)
Entwicklung eines kontinuierlichen VHF-Bandschichtungsverfahrens zur Herstellung von 'mikromorphen' Silizium-Tandemsolarzellen	0329563D	Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)
Verbundprojekt: Entwicklung und Untersuchung der Beschichtung von Folienbändern mit Kontakten, Barrieren und Solarzellen (FlexSol); Teilvorhaben: Bandbeschichtung mit amorphen und mikrokristallinen Solarzellen	0325442A	Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)
Verbundvorhaben: DYNASTO – Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellungskosten; Teilvorhaben: Dynamische PECVD für Hocheffizienz Si-Solarzellen - Grundlagenuntersuchungen	0324293D	Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)
Großflächige Abscheidung von a-Silizium-pin-Solarzellen mit einer VHF-PCVD-Durchlaufanlage	0329563C	Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)
VHF-Hochrate-Plasma-CVD auf großen Flächen für amorphe und mikrokristalline Siliziumschichten	0329563B/3	Technische Universität Dresden - Fakultät Elektrotechnik und Informationstechnik - Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM)

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