EmitterPlus - Integrierter Prozess für die Formierung von Gasphasenemittern und Selektiven Kontakten
Zeitraum
2018-06-01 – 2020-12-31
Bewilligte Summe
1.105.858,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0324280
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
In der Produktion von Solarzellen ist die Diffusion des Emitters eine wichtige Standardtechnologie. Dabei sind das allseitige Abätzen der Dotiergläser und das einseitige Rückätzen der Diffusionszone zusätzliche Prozessschritte, die zur Erzeugung der Solarzellen notwendig sind. Ein alternativer Ansatz hierzu wird in EmitterPlus verfolgt, bei dem der Emitter direkt aus der Gasphase, d.h. ohne das Wachstum einer Glasschicht als Dotierstoffquelle, in den Wafer eingetrieben wird. Dieser sogenannte Gasphasenemitter hat den großen Vorteil, dass (i) die Konzentration des angebotenen Dotierstoffes während des Prozesses geändert werden kann und (ii) kein Dotierglas auf dem Wafer zurückbleibt, welches nach der Diffusion nasschemisch entfernt werden muss. Im Rahmen von EmitterPlus soll ein Kombinationsprozess für Emitter entwickelt, auf Solarzellen mit einem Wirkungsgrad von 25% übertragen und die Umsetzung in einen industriellen Prozess vorbereitet werden. Als Solarzellentyp wird die mittels leitfähigen Oxiden pasivierte TOPCon (tunnel oxide passivated contacts) Technologie verwendet.
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