Verbundvorhaben: GREEN-EPITAXY - Erforschung der Niedertemperaturepitaxie als Basis für eine ressourcenschonende Halbleiterproduktion und Wegbereiter energieeffizienter Konsumgüter; Teilvorhaben: Technologieverwertung
Zeitraum
2024-06-01 – 2027-05-31
Bewilligte Summe
484.583,87 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03EN4085C
Leistungsplansystematik
Energiesparende Industrieverfahren - Elektrotechnik [EA3253]
Verbundvorhaben
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESN4)
Förderprogramm
Energie
Ziel ist die Erforschung der Niedertemperaturepitaxie (NTE) als Basis für eine ressourcenschonende Halbleiterproduktion und Wegbereiter für energieeffiziente Konsumgüter. Der Verbund besteht aus der ELEMENT 3-5 GmbH (Koordinator), dem Fraunhofer IPT sowie der NMWP Management GmbH. Aktuell werden zur Herstellung von Verbindungshalbleitern extrem hohe Prozesstemperaturen (>1000 °C) und toxische Gase benötigt. Neben der Umweltbelastung führen der hohe Energie- und Gaseinsatz in Verbindung mit begrenztem Durchsatz zu hohen Fertigungskosten. Die NTE arbeitet bei 300 °C. Sie benötigt lediglich 10% des Prozessgas- und Energieeinsatzes unter Verzicht auf toxische Gase. Zusammen mit einer zehnfach höhere Anlagenkapazität reduzieren sich die Fertigungskosten signifikant, so dass erstmalig ein Übergang auf effizientere Verbindungshalbleiter in Massenmärkten möglich wird – ein enormer Hebel für Energieeffizienz und -einsparung. Mit einem Einsatz der NTE in der Halbleiterproduktion wird die Energieeffizienz auf Produktions- und Produktebene daher signifikant gesteigert. Die kostenintensive und risikobehaftete Erforschung der Materialsysteme übersteigt ohne Förderung jedoch die Kapazität von KMUs.