Verbundprojekt: Inline-Plasmaätzanlage für die Solarzellenfertigung
Zeitraum
2001-04-01 – 2003-12-31
Bewilligte Summe
380.537,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0329879E
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
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