Verbundvorhaben: Siliciumnitrid-Durchlaufsputteranlage für die Photovoltaik
Zeitraum
2001-08-01 – 2004-03-31
Bewilligte Summe
303.513,50 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0329853C
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01017774/1 – Siliciumnitrid-Durchlaufsputteranlage für die Photovoltaik
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
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