Qualifizierung der CIS Abscheidung für die Serienfertigung
Zeitraum
2004-04-01 – 2007-03-31
Bewilligte Summe
2.081.326,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0329843D
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Chalkopyrite [EB1022]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Die Zielsetzung des Projektes Qualifizierung der CIS Abscheidung für die Serienfertigung war primär die Weiterentwicklung einer Hochraten-Verdampferquelle für Absorberschichten mit 120cm Breite. Ferne war eine Weiterentwicklung des Substrattransportes, wie der Produktivität und Ausfallsicherheit der Beschichtungsanlage, sowie der Qualitätskontrollen im CIS-Prozess vorgesehen.
Das Vorhaben war zeitlich, wie auch inhaltlich in vier Abschnitte unterteilt. Zuerst die Konzeption und Konstruktion einer Prototypanlage, mit einer Beschichtungsbreite von 120cm, gefolgt von der Vorqualifizierung der CIS-Abscheidung. Darauffolgend wurde die Örtlichkeit der Anlage nach Schwäbisch-Hall verlegt, dort erfolgten Produktionsanlauf und Prozessverbesserungen.
Die wichtigsten Entwicklungsergebnisse mit Abschluss des Projektes waren die erfolgreiche Verdoppelung der Beschichtungsbreite von 60cm auf 120cm und die Entwicklung eines Konzeptes zum Substrattransport. Hierdurch konnte die Taktzeit auf die Hälfte vermindert werden und der Wirkungsgrad der neuen Anlage liegt im Bereich von 60cm-Anlagen. Ferner konnte der Prozess über verbesserte Regulierungsmechanismen stabilisiert werden.
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