Wachstum von Silizium-Schichten nach der Temperatur-Differenz-Methode
Zeitraum
1994-03-01 – 1998-12-31
Bewilligte Summe
1.435.583,77 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0329566 /3
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Silizium [EB1021]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
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