Beschichtung von flexiblen Substraten mit a-Silizium pin-Solarzellen mittels einer VHF-PECVD-Durchlaufanlage
Zeitraum
2006-10-01 – 2010-03-31
Bewilligte Summe
653.687,00 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0329563E
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Silizium [EB1021]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Das Gesamtziel des Vorhabens besteht in der Weiterentwicklung eines hochproduktiven dynamischen Verfahrens zur Abscheidung von a-Si:H-Solarzellen auf flexiblen Polymerfolien mittels einer VHF-Plasma-CVD-Durchlaufanlage. Das Vorhaben beinhaltet die Entwicklung einer Technologie zur Herstellung einfacher pin Solarzellen auf flexiblem Bandsubstrat einschließlich der Bearbeitung von Rolle auf Rolle. Ziel ist es, das anlagentechnische Know How für die Beschichtung nicht nur flexibler pin-Solarzellen zu erlangen, sondern diese Technologie für weitere Bereiche, wie z. B. den medizinischen Bereich, Labels usw. zu nutzen. Die prinzipielle Eignung der VHF-Durchlaufanlage für die Beschichtung von a-Si:H Solarzellen mit hohen Raten (>100nm/min) wurde bereits im Vorläuferprojekt nachgewiesen.
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