Neue Prozessgase zur Abscheidung von Amorphem Silicium und seinen Kohlenstofflegierungen für Photovoltaik und Photosensorik
Zeitraum
1990-11-01 – 1994-09-30
Bewilligte Summe
439.696,92 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0329080A/8
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Silizium [EB1021]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
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