Gezielte Synthese und Erprobung Hochreiner CVD-geeigneter Metallverbindungen zur Herstellung von Legierungs-Dünnschichten für die Solartechnik - Neuartige Prozessgase
Zeitraum
1989-03-01 – 1992-05-31
Bewilligte Summe
477.835,41 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0328980A/7
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Silizium [EB1021]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
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