Untersuchung von Siliziumbasismaterialien und der Sipos Zellstruktur sowie Dünnschichtverbindungshalbleiter Wse2, Fesi2, Fes2, Crs, Crse
Zeitraum
1987-07-01 – 1990-09-30
Bewilligte Summe
1.973.484,40 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0328453B/1
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Sonstige Materialien/Technologien [EB1028]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
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