2015-12-01  –  2019-09-30

196.187,00 EUR

Freiberg Instruments GmbH, Freiberg, Sachsen

0325910C

Photovoltaik - andere Strukturen - Verbindungshalbleiter [EB1041]

01162824/1  –  Cutting Edge - Charakterisierung und Technologie für die deutsche PV-Industrie

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)

Energie

Das Gesamtziel der Vorhaben CUT-A und CUT-B ist die Entwicklung, Erprobung und Bereitstellung von modernster Charakterisierung und Technologie, die die kosteneffiziente Herstellung von PERC Solarzellen mit einem Wirkungsgrad von über 20 % und geringerer Schwankungsbreite ermöglichen. Während im Projekt CUT-A die erforderlichen Technologien entwickelt werden, werden im Projekt CUT-B innovative Konzepte der Inline-Prozesskontrolle und der simulationsgestützten Sensitivitätsanalyse des Gesamtprozesses hinsichtlich Prozessschwankungen entwickelt. Ausgewählte Charakterisierungsverfahren werden dabei entscheidend verbessert, sodass mittels der Inline-Prozesskontrolle und der begleitend durchgeführten Sensitivitätsanalyse des Prozesses der Einfluss von Prozessschwankungen auf den Solarzellen-Wirkungsgrad verstanden und theoretisch wie experimentell quantifiziert werden kann. Der Fokus des Teilprojektes bei Freiberg Instruments (FIN) liegt auf der Weiterentw. der Technologie für mikrowellen-detektierte Photoleitfähgikeitsmessung (MDP), mit der Lebensdauertopographien inline gemessen werden können, auf deren Basis ein MDP-basiertes Prozessmonitoring entwickelt und erprobt werden soll. Die wesentlichen Arbeitspakete für FIN sind: (1) Entw. von Methoden zur autom. Analyse von Prozessschwankungen (für MDP) (2) Entw. einer MDP-basierten Lebensdauerkalibrierung für ein Inline PL System (3) MDP-Systemopt. / Identifikation relevanter Anregungsbed. inversch. Fertigungsstadien (4) MDP-Monitoring von Einzelprozessen und MDP-Eingangstest für Cz-Si