Verbundvorhaben: Höchsteffiziente PERC-Solarzellen ohne LID mit verbesserten Metall-Kontakten (PERC2.0); Teilvorhaben: Entwicklung, Bau und Qualifizierung eines Prototyps für neuartige, innovative Produktionsanlage für Prozessschritte der Zellrückseite
Zeitraum
2015-10-01 – 2016-04-30
Bewilligte Summe
37.538,98 EUR
Ausführende Stelle
Manz AG, Reutlingen, Baden-Württemberg
Förderkennzeichen
0325880C
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01161186/1 – Höchsteffiziente PERC-Solarzellen ohne LID mit verbesserten Metall-Kontakten
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Herkömmliche Aluminium (Al) back surface field (BSF) Produktionsparks benötigen für die kommende Mainstream Technologie der Passivated-Emitter-and-Rear-Contact (PERC)-Solarzellen lediglich zwei zusätzliche Prozess-Schritte: die Abscheidung einer Rückseiten-Passivierschicht und eine lokale Rückseiten-Strukturierung mittels Laser zur Kontaktierung. Zusätzlich ist noch mindestens ein Handlingschritt nötig. Im Manz Teilvorhaben wird erstmalig die Rückseiten-Passivierung und die lokale Rückseiten-Strukturierung, und damit auch der dazwischen notwendige Handlingschritt, in einer Anlage kombiniert und integriert. Hierfür werden Voruntersuchungen durchgeführt, um die Anforderungen an eine Prototyp Anlage zu definieren. Hiernach wird der Prototyp konzipiert, aufgebaut und dessen Einzelprozesse optimiert. Die Qualität und Robustheit des Prototypen und insbesondere des kombinierten Gesamtprozesses wird mittels Teststrukturen auf p-PERC und n-Passivated Emitter and Rear Totally Diffused (PERT)-Back Junction (BJ)-Solarzellen eruiert und optimiert. Ziel ist es, auf n-PERT-BJ Solarzellen Wirkungsgrade größer 22.5% nachzuweisen. Bei erfolgreicher Evaluierung am ISFH und entsprechendem Marktpotenzial wird Manz einen 'plasma-enhanced chemical vapour deposition' (PECVD) Borsilikatglas/Siliziumnitrid (BSG/SiNx) Produktionsprozess entwickeln. Das Vorhaben ist als Verbundvorhaben des ISFH, der Evonik Industries AG und der Manz AG mit den Bereichen Manz Coating in Karlstein und Laserprozesse in Reutlingen. Entsprechend dem Gesamtprojektplan und den spezifischen Expertisen der Partner ist die jeweilige Unterstützung der anderen Partner in enger Zusammenarbeit geplant.
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