Steigerung der Produktionsleistung der Silizium-basierten Dünnschichtmodulfertigung durch verbesserte Moduleffizienz bei hohen Abscheideraten - SilziumDS12plus, Teilprojekt: Generatorentwicklung 40.68 MHz für Plasma-Anwendungen.
Zeitraum
2011-07-01 – 2014-10-31
Bewilligte Summe
571.402,21 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0325317D
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Silizium [EB1021]
Verbundvorhaben
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
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