Untersuchung des Elektrischen Asymmetrischen Effektes zur Anwendung für die Herstellung von Siliziumdünnschicht Solarzellen (ELIAS)
Zeitraum
2010-07-01 – 2013-06-30
Bewilligte Summe
504.623,33 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0325210A
Leistungsplansystematik
Dünnschichttechnologien Silizium [EB1021]
Verbundvorhaben
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
In PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapour-Deposition)-Prozessen ermöglicht der elektrische Asymmetrie-Effekt, die zwei wichtigen Prozessparameter Ionenenergie und Ionenfluss unabhängig voneinander zu regeln. Das Verfahren ist auf großflächige Entladungen anwendbar, die für die Herstellung von Silicium(Si)-Dünnschichtsolarzellen geeignet ist. Im Rahmen dieses Projektes soll die Grundlagenforschung zur industriellen Verwertbarkeit vollzogen werden. Mit dem Projekt Elias sollen zusätzlich die Optimierung des PECVD-Beschichtungsprozesses und die Reduktion der Herstellungskosten von Si-Dünnschichtsolarzellen erreicht werden.
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