Entwicklung und Erprobung von elektrodenlosen Plasma-Spritzverfahren (Fertigungsverfahren/-Techniken) zur Silicium-Beschichtung von großflächigen Substraten
Zeitraum
1986-01-01 – 1991-06-30
Bewilligte Summe
893.241,74 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03E8634A/4
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Basismaterial [EB1011]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
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