2021-05-01  –  2024-08-31

2.569.098,41 EUR

Fraunhofer-Institut für Solare Energiesysteme (ISE), Freiburg im Breisgau, Bayern

03EE1117C

Kristallines Silizium Basismaterial [EB1011]

01232565/1  –  DETEKTIV - Detaillierte Defektanalyse von EpiWafern zur Verbesserung ihrer kristallographischen und elektronischen Qualität

Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)

Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)

Energie

Die Silicium EpiWafer-Technologie hat ein Kostensenkungspotential von über 50% verglichen mit herkömmlichen einkristallinen Siliciumwafern. Im Unterschied zu herkömmlichen Czochralski-Wafern, wie sie in der Solarindustrie Verwendung finden, bilden sich in epitaktisch gewachsenen Wafern andersartige Kristalldefekte aus. Diese Kristalldefekte sind eine Hauptlimitierung der heutigen EpiWafer Qualität. Ziel des Projekts DETEKTIV ist es, die Hauptursachen für Kristalldefekte in epitaktisch erzeugten Wafern zu identifizieren und die Prozesse und Anlagen dahingehend zu optimieren, die Defekte komplett auszuschließen oder auf unschädliche Niveaus zu reduzieren. Das vorliegende Teilprojekt DETEKTIV hat die Herstellung und Charakterisierung von Referenz EpiWafern höchster Qualität zum Ziel. Es sollen Wachstumsraten im Bereich von 1 µm/min und strukturelle Defektdichten < 100 cm² erreicht werden. Die EpiWafer, die aus dem optimierten Prozess stammen, werden einen Solarzellenprozess für höchste Effizienz (> 24%) durchlaufen.