Verbundvorhaben: POPEI - Produktionstechnologien für hochperformante kostengünstige IBC-Solarzellen; Teilvorhaben: Entwicklung von hochauflösenden Glas-Schattenmasken
Zeitraum
2021-05-01 – 2023-04-30
Bewilligte Summe
197.683,87 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03EE1102B
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01231721/1 – POPEI - Produktionstechnologien für hochperformante kostengünstige IBC-Solarzellen
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Das Projekt POPEI hat das Ziel, ein industrialisierbares Verfahren zur Herstellung von IBC-Solarzellen (Interdigitated Back Contact) auf Basis mit Gallium (Ga) dotierter, kristalliner Siliziumwafer zu entwickeln. Hierbei sollen auf Modulebene neben einem höheren Wirkungsgrad geringere Kosten/Wp als bei der heute dominanten PERC-Architektur (Passivated Emitter and Rear Cell) ermöglicht werden. LPKF entwickelt im Projekt die für eine genaue und hochwertige PECVD-Abscheidung (Plasma-Enhanced Chemical Vapour Deposition) von poly-Silizium (Si) notwendigen Schattenmasken. Dafür soll das LIDE-Verfahren (laser-induziertes Tiefenätzen, engl. laser induced deep etching) zur Mikrostrukturierung von Glas eingesetzt werden. Damit lassen sich Strukturen mit großen Aspektverhältnissen bis 50:1 (Tiefe zu Breite) sowie hoher räumlicher Auflösung und Geometrietreue herstellen. Diese Strukturen müssen an die spezifischen Anforderungen der PECVD-Abscheidung angepasst werden. Ziel ist es, innerhalb von zwei Jahren die Tauglichkeit der Glasmasken in industriellen PECVD-Anlagen zu evaluieren.
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