Anwendung der Aktivierungsanalyse mit He-Ionen zum Nachweis Kleinster Konzentrationen von C und O in Halbleiter-Kristallen (Si) und anderen Technologisch Interessanten Reinststoffen. Untersuchung und Beseitigung Systematischer Fehlerquellen
Zeitraum
1980-01-01 – 1980-12-31
Bewilligte Summe
25.505,28 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0349B60I/9
Leistungsplansystematik
Radionuklidtechnik (abgeschlossen) [U07089]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF.711)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.EGF1)
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