Anwendung der Aktivierungsanalyse mit 3he-Ionen zum Nachweis Kleinster Konzentrationen von C und O in Halbleiter-Kristallen (Si) und anderen Technologisch Interessanten Reinststoffen. Untersuchung und Beseitigung Systematischer Fehlerquellen
Zeitraum
1979-01-01 – 1982-12-31
Bewilligte Summe
84.752,80 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
0348B60P/6
Leistungsplansystematik
Radionuklidtechnik (abgeschlossen) [U07089]
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF.711)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.EGF1)
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