Verbundvorhaben: PEPSI - P-Typ Epitaktische Siliziumwafer; Teilvorhaben: Gettern mittels porösen Siliziums zur Verbesserung der Ladungsträgerlebensdauer von p-Typ epitaktischen Siliziumwafern
Zeitraum
2021-01-01 – 2023-06-30
Bewilligte Summe
673.242,29 EUR
Ausführende Stelle
Förderkennzeichen
03EE1082B
Leistungsplansystematik
Kristallines Silizium Zellenentwicklung [EB1012]
Verbundvorhaben
01221174/1 – PEPSI - P-Typ Epitaktische Siliziumwafer
Zuwendungsgeber
Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK.IIB5)
Projektträger
Forschungszentrum Jülich GmbH (PT-J.ESE1)
Förderprogramm
Energie
Das Teilprojekt der Universität Konstanz beschäftigt sich mit der Entwicklung von Ätzprozessen, die ein poröses Silizium erzeugen, das im nachfolgenden Reorganisations- und Epitaxieprozess Defekte gettert, so dass die Ladungsträgerlebensdauer der epitaktisch gewachsenen Siliziumschichten den Level des Stands der Technik signifikant überschreiten.
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